СПбПУ
Основы технологии электронной компонентной базы Захарова Ирина Борисовна
0%
Previous
Course data
Общая информация
Форум
Вебинар в системе Webinar.ru
Ссылка на вебинарную комнату курса
Ссылка на ресурсный курс (РАЗМЕЩАЕТ ПРЕПОДАВАТЕЛЬ)
Правила промежуточной аттестации
Правила аттестации по дисциплине
Оценочные средства (примеры оценочных средств)
Правила аттестации по дисциплине
Лекции
Введение. Проектная норма. Проблемы и перспективы.
Термическое окисление кремния
Диффузия
Лекция Ионное легирование
Фотолитография
Лекция 6. Литография. Рентгенолитография, электронно-лучевая литография
Методы травления
Физические метода получения тонких пленок
Химические методы получения тонких пленок
Эпитаксия
Планарно-эпитаксиальная биполярная технология
МОП-структуры ИС
Металлизация ИС
Масштабирование МОП структур
Перспективные материалы
МОП с малыми размерами
Тестовые вопросы
Тест 1. Введение, термическое окисление , диффузия
Тест 2 Методы легирования
Тест № 3 Литография
Тест № 4 . Методы получения и травления тонких пленок
Тест № 5 . Технология БП и МОП элементов ИС
Тест № 6. Металлизация и масштабирование ИС
Материалы для практических занятий
Материалы к задачам на термическое окисление
Материалы для расчетов. Диффузия
Материалы для расчетов. Ионное легирование.
Материалы для расчета КМОП
ПЭБТ
МОП-структуры
Домашние задания 4931601/11101
Домашнее задание гр. 4931104/10301
Домашние расчетные задания группа 4931104/10302
Домашние расчетные задания гр 4931104/10303
Промежуточная аттестация
Вопросы по курсу
Примерные тестовые вопросы по курсу
Next
Side panel
СПбПУ
English (en)
Русский (ru)
English (en)
Log in
Site Navigation
Основы технологии электронной компонентной базы Захарова Ирина Борисовна
Home
Skip to main content
Course info
Home
Courses
Учебный год 2024/25, осенний семестр
Бакалавриат
Основы технологии электронной компонентной базы Захарова Ирина Борисовна
Summary
Основы технологии электронной компонентной базы Захарова Ирина Борисовна
Teacher:
Бурковский Роман Георгиевич
Teacher:
Захарова Ирина Борисовна
Skill Level
:
Beginner
Skill Level
:
Beginner