loader image
Skip to main content
  • Основы технологии электронной компонентной базы Захарова Ирина Борисовна
    0%
  • Previous
  • Course data
    Общая информация
    Форум
    Ссылка на ресурсный курс (РАЗМЕЩАЕТ ПРЕПОДАВАТЕЛЬ)
    Правила промежуточной аттестации
    Правила аттестации по дисциплине
    Оценочные средства (примеры оценочных средств)
    Правила аттестации по дисциплине
    Лекции
    Введение. Проектная норма. Проблемы и перспективы.
    Термическое окисление кремния
    Диффузия
    Лекция Ионное легирование
    Фотолитография
    Лекция 6. Литография. Рентгенолитография, электронно-лучевая литография
    Методы травления
    Физические метода получения тонких пленок
    Химические методы получения тонких пленок
    Эпитаксия
    Планарно-эпитаксиальная биполярная технология
    МОП-структуры ИС
    Металлизация ИС
    Масштабирование МОП структур
    Перспективные материалы
    МОП с малыми размерами
    Тестовые вопросы
    Тест 1. Введение, термическое окисление , диффузия
    Тест 2 Методы легирования
    Тест № 3 Литография
    Тест № 4 . Методы получения и травления тонких пленок
    Тест № 5 . Технология БП и МОП элементов ИС
    Тест № 6. Металлизация и масштабирование ИС
    Материалы для практических занятий
    Материалы к задачам на термическое окисление
    Материалы для расчетов. Диффузия
    Материалы для расчетов. Ионное легирование.
    Материалы для расчета КМОП
    ПЭБТ
    МОП-структуры
    Домашние задания 4931601/11101
    Домашнее задание гр. 4931104/10301
    Домашние расчетные задания группа 4931104/10302
    Домашние расчетные задания гр 4931104/10303
    Промежуточная аттестация
    Вопросы по курсу
    Примерные тестовые вопросы по курсу
  • Next
  • Categories
    • All categories
    Учебный год 2025/26, осенний семестр
    Бакалавриат
    • 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
    • 11.03.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
    • 11.03.01 Радиотехника
    • 16.03.01 ТЕХНИЧЕСКАЯ ФИЗИКА
    Магистратура
    • 16.04.01 Техническая физика
    • 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
    • 11.04.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
    • 11.04.01 Радиотехника
    Учебный год 2024/25, весенний семестр
    Бакалавриат
    • 16.03.01 ТЕХНИЧЕСКАЯ ФИЗИКА
    • 11.04.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
    • 11.03.01 Радиотехника
    • 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
    • 11.03.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
    • 11.04.01 Радиотехника
    Магистратура
    • 16.04.01 Техническая физика
    • 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
    • Магистратура
    Учебный год 2024/25, осенний семестр
    Бакалавриат
    • 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
    • 11.04.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
    • 11.03.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
    • 11.04.01 Радиотехника
    • 16.03.01 ТЕХНИЧЕСКАЯ ФИЗИКА
    • 11.03.01 Радиотехника
    Магистратура
    • 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
    • 16.04.01 Техническая физика
    Учебный год 2023/24, весенний семестр
    Бакалавриат
    • 16.03.01 ТЕХНИЧЕСКАЯ ФИЗИКА
    • 11.04.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
    • 11.03.01 Радиотехника
    • 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
    • 11.03.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
    • 00.00.00 Пусто
    • 11.04.01 Радиотехника
    Магистратура
    • 16.04.01 Техническая физика
    • 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
    Магистратура
    • 16.04.01 Техническая физика
    Учебный год 2023/24, осенний семестр
    Бакалавриат
    • 11.04.01 Радиотехника
    • 16.03.01 ТЕХНИЧЕСКАЯ ФИЗИКА
    • 11.03.01 Радиотехника
    • 11.04.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
    • 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
    • 00.00.00 Пусто
    • 11.03.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
    Магистратура
    • 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
    • 16.04.01 Техническая физика
    • 16.04.01 Техническая физика
    Учебный год 2022/23, весенний семестр
    Бакалавриат
    • 00.00.00 Пусто
    • 11.04.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
    • 16.03.01 ТЕХНИЧЕСКАЯ ФИЗИКА
    • 11.03.01 Радиотехника
    • 11.03.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
    • 11.04.01 Радиотехника
    • 11.03.2004 Электроника и наноэлектроника
    • 16.03.2001 Техническая физика
    • 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
    • 11.03.2002 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
    Магистратура
    • 16.04.01 Техническая физика
    • 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
    Магистратура
    • 16.04.01 Техническая физика
    • Разное
    • Архив курсов ИФНиТ
    Ресурсные курсы ИЭиТ
    Бакалавриат
    • 1 курс
    • 2 курс
    • 3 курс
    • 4 курс
    • Магистратура
    • Дополнительное образование
    Заочное образование
    • Цзянсуйский университет (КНР)
  • Home
English ‎(en)‎
Русский ‎(ru)‎ English ‎(en)‎
Log in
Categories Collapse Expand
  • All categories
Учебный год 2025/26, осенний семестр
Бакалавриат
  • 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
  • 11.03.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
  • 11.03.01 Радиотехника
  • 16.03.01 ТЕХНИЧЕСКАЯ ФИЗИКА
Магистратура
  • 16.04.01 Техническая физика
  • 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
  • 11.04.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
  • 11.04.01 Радиотехника
Учебный год 2024/25, весенний семестр
Бакалавриат
  • 16.03.01 ТЕХНИЧЕСКАЯ ФИЗИКА
  • 11.04.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
  • 11.03.01 Радиотехника
  • 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
  • 11.03.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
  • 11.04.01 Радиотехника
Магистратура
  • 16.04.01 Техническая физика
  • 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
  • Магистратура
Учебный год 2024/25, осенний семестр
Бакалавриат
  • 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
  • 11.04.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
  • 11.03.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
  • 11.04.01 Радиотехника
  • 16.03.01 ТЕХНИЧЕСКАЯ ФИЗИКА
  • 11.03.01 Радиотехника
Магистратура
  • 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
  • 16.04.01 Техническая физика
Учебный год 2023/24, весенний семестр
Бакалавриат
  • 16.03.01 ТЕХНИЧЕСКАЯ ФИЗИКА
  • 11.04.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
  • 11.03.01 Радиотехника
  • 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
  • 11.03.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
  • 00.00.00 Пусто
  • 11.04.01 Радиотехника
Магистратура
  • 16.04.01 Техническая физика
  • 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Магистратура
  • 16.04.01 Техническая физика
Учебный год 2023/24, осенний семестр
Бакалавриат
  • 11.04.01 Радиотехника
  • 16.03.01 ТЕХНИЧЕСКАЯ ФИЗИКА
  • 11.03.01 Радиотехника
  • 11.04.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
  • 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
  • 00.00.00 Пусто
  • 11.03.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
Магистратура
  • 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
  • 16.04.01 Техническая физика
  • 16.04.01 Техническая физика
Учебный год 2022/23, весенний семестр
Бакалавриат
  • 00.00.00 Пусто
  • 11.04.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
  • 16.03.01 ТЕХНИЧЕСКАЯ ФИЗИКА
  • 11.03.01 Радиотехника
  • 11.03.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
  • 11.04.01 Радиотехника
  • 11.03.2004 Электроника и наноэлектроника
  • 16.03.2001 Техническая физика
  • 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
  • 11.03.2002 Инфокоммуникационные технологии и системы связи
Магистратура
  • 16.04.01 Техническая физика
  • 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Магистратура
  • 16.04.01 Техническая физика
  • Разное
  • Архив курсов ИФНиТ
Ресурсные курсы ИЭиТ
Бакалавриат
  • 1 курс
  • 2 курс
  • 3 курс
  • 4 курс
  • Магистратура
  • Дополнительное образование
Заочное образование
  • Цзянсуйский университет (КНР)
Home

    Course info

    Основы технологии электронной компонентной базы Захарова Ирина Борисовна

    • Teacher: Бурковский Роман Георгиевич
    • Teacher: Захарова Ирина Борисовна
    Skill Level: Beginner
    Skill Level: Beginner

    Портал дистанционных образовательных технологий СПБПУ Петра Великого
    Политика конфиденциальности
    Политика обработки cookie
    При использовании материалов портала активная ссылка на источник обязательна

    Санкт-Петербургский политехнический университет

    Контакты:

    195251, Санкт-Петербург, ул. Политехническая, дом 29, Научно-исследовательский корпус

    +7 (812) 906-15-19

    dl@spbstu.ru

    Мы в социальных ресурсах

    Мы используем cookies и рекомендательные технологии для улучшения работы сайта. Продолжая использовать этот сайт, Вы соглашаетесь на использование файлов cookie.